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精密玻璃精圆

玻璃晶圆

 

本公司引进日本先进的激光仪器、超声波仪器、雕刻和磨削机器等先进设备,同时拥有资深级的技术人员,能为客户提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圆(Glass wafer),应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电子产品、家电产品、军工、科研等高科技产品。


 

产品特点:

  • 特种光学玻璃材料,具有出色的耐热透光性能,以及卓越的化学性能
  • 具备丰富的玻璃生产加工经验,具有极高的面型精度及表观质量
  • 可定制各厚度及尺寸,具备极低的厚度及尺寸公差
  • 符合常规的加工要求和工业标准(例如SEMI)
  • 符合ISO 9001:2000所有要求的一体化生产流程

 

典型应用:

  • 微光学
  • MEMS(压力传感器、加速计…)
  • 晶片级封装(图像传感器封装…)
  • 生物工程(微观流体、DNA分析…)
  • 以及许多其它客户指定应用


玻璃晶圆加技术参数:

a)材料:康宁Eagle XG 、BOROFLOAT、PYREX7740、石英玻璃、B270、D263T、AF32、BK-7
b)标准厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)标准尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)

d)外观:60/40;40/20;20/10
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm

f)平行度<0.01mm

g)各棱边倒钝C0.05~0.2mm

h)裂口<0.2mm,不可内裂

i)表面清洁,不得有印记和污点,在洁净工作台下包装,用专用盒子包装。

 

玻璃晶圆基本性能:

技术参数:

密度(25℃)

2.38g/cm2

膨胀系数(ISO 7991)

3.17′10-6k-1

透光率

>91%

软化点

971℃

TTV/平整度

<0.005

Bow/翘曲度

<0.01

Warp/弯曲度

<0.01

努氏硬度

640

关于我们

广州绿晶玻璃有限公司是一家专业从事玻璃产品开发、生产和销售的综合型企业,公司致力于精密玻璃领域,成为世界顶尖的玻璃公司-美国康宁CORNING®及德国肖特SCHOTT®大陆合作伙伴,是Corning  Eagle XG®、 Willow®、SCHOTT BOROFLOAT® 33玻璃产品的官方授权经销商,多年来经营康宁Eagle XG®、Willow®、Gorilla®、Corning 7979、Corning 7980等系列康宁产品及肖特BOROFLOAT®33、ROBAX、D263T、B270等系列光学玻璃产品,广泛应用于光学、通讯、生命科学、航天航空、军工和科研等领域。

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